深圳化合物半导体产业基地（包括深圳国家半导体照明工程产业化基地）位于深圳市光明新城内，占地约3平方公里。世纪晶源科技有限公司率先投资，在该产业基地核心区1.14平方公里内规划建设多个化合物半导体产业中、上游产品核心项目和配套服务设施。目前，在基地内已经建设了大型公共研发中心，建立了化合物半导体外延片和芯片的大型生产设施，并规划建设了大量产业通用厂房和服务设施，为产业内中、下游产品生产企业的发展创造了良好的平台。
建筑面积1.2万平方米的首期核心项目之一的综合测试与研究中心一期工程已经投入使用，建设面积1.2万平方米的化合物半导体外延厂（1号厂）已于2007年10月11日完工投产，6500平方米的100级至10000级洁净室已经全部投入使用，厂房内MOCVD、MBE等高技术设备已经完成安装调试并开始生产运行。化合物半导体芯片制造厂（2号厂）于2008年10月28日试投产成功，消除了基地产业链向下游延伸的“瓶颈”。同时，C1地块、后勤基地、员工配套区等项目的建设正有序进行。